Gassensitivität und Hochtemperatureigenschaften dielektrischer Dünnschichten

48,80 

Berichte aus der Elektrotechnik

Autor

Schreivogel, Martin

Verlag

Shaker Verlag GmbH

Einband

PB

Sprache

GER

Produktform

Kartoniert

Lieferzeit

Erscheinungsdatum

15.12.2015

Beliebtheit

40

Artikelnummer: 8828047 Kategorie:

EAN / ISBN:

9783844040869

 

 

Die Dissertation beschäftigt sich mit dem Signalbildungsmechanismus an mikrostrukturierten, feldeffektbasierten Gassensoren. Dazu werden einerseits die Polarisationsprozesse in dielektrischen Dünnschichten bei hohen Temperaturen untersucht. Andererseits wird eine neue Methode zur ortsaufgelösten Oberflächenpotentialmessung auf isolierenden Schichten entwickelt.

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